2–5 независимых зон нагрева
Многозонные трубчатые печи для CVD и нанотехнологий
2–5 независимых зон нагрева, температура до 1600°C, вакуумный насос в комплекте. Для синтеза нанотрубок, CVD, PECVD и высокотемпературных процессов
Ключевые преимущества многозонных трубчатых печей
Температура 1200–1600°C
Вакуумный насос в комплекте
Кварцевая или корундовая труба
CVD и PECVD процессы
Диаметр трубы 40–120 мм
Серии многозонных трубчатых печей для термообработки
Многозонная трубчатая печь 1200°C (кварцевая труба)
- Температура: 1200°C
- Нагреватели: нихром с алюминием
- Труба: кварцевая
- Термопара: K-тип
- Зоны: 2 (3-5 под заказ)
- Диаметры: 40,60,80,100,120 мм
- Мощность: 5-12 кВт
- Применение: CVD, синтез нанотрубок, отжиг
Многозонная трубчатая печь 1400°C (корундовая труба, кремниевые нагреватели)
- Температура: 1400°C
- Нагреватели: карбид кремния SiC
- Труба: корундовая
- Термопара: S-тип
- Зоны: 2 (3-5 под заказ)
- Диаметры: 40,60,80,100,120 мм
- Мощность: 5-12 кВт
- Применение: высокотемпературный CVD, спекание керамики
Многозонная трубчатая печь 1600°C (корундовая труба, молибденовые нагреватели)
- Температура: 1600°C
- Нагреватели: силицид молибдена
- Труба: корундовая
- Термопара: B-тип
- Зоны: 2 (3-5 под заказ)
- Диаметры: 40,60,80,100,120 мм
- Мощность: 6-12 кВт
- Применение: сверхвысокотемпературные процессы, спекание оксидов
Многозонные трубчатые печи для прецизионной термообработки
Многозонные трубчатые печи — специализированное оборудование для процессов CVD, PECVD и синтеза наноматериалов. Основное отличие — раздельный контроль температуры в 2–5 независимых зонах, что позволяет создавать градиентные и сложные температурные профили вдоль рабочей трубы.
Оборудование широко применяется в нанотехнологиях (синтез углеродных нанотрубок, кремниевых нанопроволок), материаловедении (получение композитов, функциональных покрытий), электронике (легирование полупроводников, отжиг структур) и химической промышленности (каталитические процессы, пиролиз).
Термооборудование из Китая → многозонные трубчатые печи для CVD и нанотехнологий.
Технические характеристики печей CVD и PECVD
| Температурный диапазон | Тип нагревателей | Материал трубы | Тип термопары | Диаметры трубы (мм) |
|---|---|---|---|---|
| до 1200°C | нихром | кварцевая | K-тип | 40, 60, 80, 100, 120 |
| до 1400°C | карбид кремния (SiC) | корундовая | S-тип | 40, 60, 80, 100, 120 |
| до 1600°C | силицид молибдена | корундовая | B-тип | 40, 60, 80, 100, 120 |
Дополнительные опции для трубчатых печей
3 или 5 зон нагрева (индивидуальное управление)
Длина зоны 300 мм (вместо стандартных 220 мм)
Система подачи газов для CVD/PECVD
RS485 и программное обеспечение для ПК
Пусконаладка и обучение персонала
Для каких задач подходят многозонные печи
Прецизионный многозонный нагрев
2–5 независимых зон со своими PID-контроллерами. Позволяет создавать линейные и ступенчатые градиенты температуры, компенсировать краевые эффекты и обеспечивать равномерность нагрева по всей длине образца.
Готовая вакуумная система
В комплект входят вакуумные фланцы, вакуумный насос и манометр. Возможность работы под вакуумом до 10⁻¹ Па или в протоке инертных и реакционных газов.
Для производителей электроники и наноматериалов
Оптимальное решение для синтеза углеродных нанотрубок, кремниевых нанопроволок, осаждения тонких плёнок (CVD/PECVD), легирования полупроводников и отжига микроэлектронных структур.
Долговечные нагревательные элементы
Выбор материала нагревателей под максимальную температуру: нихром (1200°C), карбид кремния SiC (1400°C), силицид молибдена (1600°C). Все элементы устойчивы к окислению и имеют длительный ресурс.
Нам доверяют
Наши офисы
Пекин
Белград
Bulevar Mihaila Pupina 10G/VP5, BEOGRAD — NOVI BEOGRAD, Srbija, 11070
beograd@longwang.ru +381601917142Часто задаваемые вопросы
Чем многозонные трубчатые печи отличаются от обычных?
Обычные трубчатые печи имеют одну зону нагрева. Многозонные печи оснащены 2–5 независимыми зонами, каждая со своим PID-контроллером. Это позволяет создавать сложные температурные профили, градиенты и компенсировать теплопотери по краям рабочей зоны. Такие возможности критичны для CVD-процессов и синтеза наноматериалов. Подробнее о термооборудовании из Китая.
Какие процессы можно проводить на многозонных трубчатых печах?
Печи подходят для: CVD (химическое осаждение из газовой фазы), PECVD (плазменное осаждение), синтеза углеродных нанотрубок и нанопроволок, легирования полупроводников, отжига микроэлектронных структур, спекания керамики, термообработки в контролируемой атмосфере и под вакуумом. Проверяем каждого производителя.
Какую температуру выбрать — 1200, 1400 или 1600°C?
Модели до 1200°C с кварцевой трубой подходят для большинства CVD-процессов и синтеза нанотрубок. Модели до 1400°C с корундовой трубой и нагревателями из карбида кремния — для высокотемпературного CVD и спекания керамики. Модели до 1600°C с нагревателями из силицида молибдена — для сверхвысокотемпературных процессов, спекания оксидов и тугоплавких материалов.
Вакуумный насос входит в комплект поставки?
Да, для всех моделей вакуумные фланцы, вакуумный насос и манометр входят в стандартную комплектацию. Печь готова к работе под вакуумом сразу после установки.
Какой материал рабочей трубы лучше — кварц или корунд?
Кварцевая труба (до 1200°C) прозрачна, что позволяет визуально контролировать процесс, химически стойка, но не подходит для температур выше 1200°C. Корундовая труба (Al₂O₃) выдерживает до 1600°C, более термостойка, подходит для агрессивных сред и высокотемпературных процессов.
Какой диаметр трубы выбрать для моих образцов?
Диаметры доступны от 40 до 120 мм. 40–60 мм подходят для лабораторных исследований и небольших образцов. 80–120 мм — для более крупных подложек, пластин и промышленных задач.
Можно ли заказать печь с 3 или 5 зонами нагрева?
Да, стандартные модели поставляются с 2 зонами. Под заказ доступны версии с 3 или 5 зонами нагрева с индивидуальным управлением каждой зоны. Это особенно важно для сложных CVD-процессов с многоступенчатым профилем температуры.
Подходит ли печь для PECVD (плазменного осаждения)?
Да, печи могут быть оснащены системой подачи газов и генератором плазмы для PECVD-процессов. Это расширяет возможности осаждения тонких плёнок при пониженных температурах.
Какие отрасли используют многозонные трубчатые печи?
Оборудование востребовано в: нанотехнологических центрах и лабораториях, производстве полупроводников и микроэлектроники, материаловедческих институтах, химической промышленности (катализаторы, пиролиз), авиастроении (термообработка композитов), медицинском материаловедении.
Как организовать доставку и таможенное оформление?
Мы организуем полную логистику: от проверки поставщика до доставки из Китая. Работаем с авиа, морскими и ЖД перевозками. Помогаем с таможенным оформлением.